Effizientes Herstellungsverfahren für piezoelektrische Folien*

Piezoelektrische Bauteile werden als Sensoren oder Aktuatoren für eine Vielzahl von Anwendungen (z.B.: Druck-, Schwingungs- oder Körperschallsensor; Schwingungsdämpfer) eingesetzt. Sie zeichnen sich durch hohe Zuverlässigkeit bei gleichzeitig hoher Empfindlichkeit aus. Mit dem hier vorgestellten Verfahren können u.a. piezoelektrische Folien besonders effizient hergestellt werden.

Die wichtigsten Vorteile sind:

• sehr einfaches Low-Cost- Produktionsverfahren (beliebig skalierbar)
• ausschließliche Verwendung von Standardmaterialien (PZT und PVDF-TrFE)
• Herstellung großflächiger Folien in einem breiten Bereich von Folienstärken, z.B. von 20 bis 200 µm Folienstärke möglich
• geringe Prozesstemperatur (ca. 100°C) ermöglicht die Kompatibilität zu Silizium-Technologien

Dieses Verfahren ist durch die geringen Kosten und die realisierbaren Produktionsmengen sehr gut für die Herstellung von Massenprodukten geeignet. Für Spezialanwendungen ist es hierbei von großem Vorteil, dass die piezoelektrischen und pyroelektrischen (Infrarotsensorik) Eigenschaften während des Herstellungsprozesses flexibel eingestellt werden können.

Diese Innovation ist eines der Patentportfolios, das für einen Patentverwertungsfonds* ausgewählt wurde und nun im Rahmen der Veredelungsstrategie von der IPB weiterentwickelt und anschließend verwertet wird.

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*Die Patente sind Eigentum der ZYRUS Beteiligungsgesellschaft mbH & Co. Patente I KG